Le groupe HEF (Hydromecanique Et Frottements), premier equipementier et faconnier francais en traitements de surface par plasmas hors microelectronique, utilise dans ses procedes industriels des sources plasma micro-onde multi-dipolaires fonctionnant sur le principe de la resonance cyclotronique electronique pour la realisation de depots de type DLC par PACVD, et pour l'assistance ionique a la ...
